德国好凯德Hokaido 高真空度罗茨泵 集成电路罗茨真空泵

产品特点

气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子，泵体冷却器等组成，转子在泵胶内每旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔，使泵不会因压缩气体而出现过热，但对泵的抽气性能没有任何形晌。抽气效率、噪声、振动等性能比传统二叶罗茨泵显著提高。气冷泵的转子采用渐开线的线型结构．转动时无接触且保持恒定间隙。由于该特殊的专利结构，气冷泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行，既可单独便用，也可多台串联使用，或与其他真空泵组成机组，达到更高真空度来满足各类工艺要求。
特点：
·单独使用时直排大气的极限真空度可以达到150mbar。
·多级串联或与其它前级泵串联可以达中真空范圈。
·特殊专利结构确保泵在高压差和离压缩比运行时不会过热和过载。
·三叶渐开线型线结沟和高精度机械加工确保产品运转平稳安静。
·先进的平衡式机械密封使泵的密封性能比传统骨架密封更可靠。
·泵胶为无油结沟．适用于抽除一般空气及各种特殊气体。
广泛应用于：真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干燥、真空蒸馏。